激光全息测微仪（0.01um分辨率）LGH系列测头542-711，542-712
542系列-0.00001mm分辨率型
这类精度的测头分辨率可达0.0001mm，小型化设计使其易于安装在狭小的空间内，LaserHologage采用了特有的Laser Hologage作为长度标准，确保了测量精度和重复精度，(参见第3页关于hologram的详细说明)。也可选用专用的EF计数器。
特点:
1.三丰公司的激光全息光栅式测微仪是一种数显测量系统，采用激光衍射测长原理，进行高精度和高重复精度测量。
2.紧凑型测微仪降低了每个装置组装激光光栅尺所需的成本。该测微仪也有助于缩小整个系统的尺寸。本测微仪是测量仪器或控制装置长度测量传感器，也是高精密部件测量的好选择。
3.具有 0.1μm 的分辨力适于进行高精度测量。
4.具有测量稳定性——高防护性设计，适于在恶劣的环境下工作，如温度和气压变化的环境。
5.低测力型 ( LGH-1010C ) 可用于易变形的精密工件。
6.测杆导轨使用高精度线性滚珠轴承以获得非常平滑的运动效果和超长耐用性。
技术参数：
精度: 参见性能参数 ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.1μm
长度基准: 激光全息测量传感器
反应速度: 250mm/s
测针: R1.5mm硬质合金
轴套: ø15mm
轴承类型: 高精度线性滚珠轴承
测力: 参见性能参数
输出信号: 90度相位差，差动方形波 ( RS-422A 等效 )
信号间距: 0.25μm
性能参数:
货号 | 542-711-1 | 542-712-1 | |
测量范围 | 10mm | ||
分辨力 | 0.1µm | ||
测量精度 ( 20ºC ) | 0.2µm | ||
重复精度 ( 2 ) | 0.02µm | ||
回程误差 | 0.05µm | ||
测力 | 测杆朝上 | 约 0.35N 以下 | 约 0.1N |
测杆水平 | 约 0.45N 以下 | — | |
测杆朝下 | 约 0.55N 以下 | — | |
输出信号 | 0.25µm, 90º 相位差 , 双相位正弦波 | ||
长度基准 | 激光全息测量传感器 | ||
响应速度 | 250mm/s | ||
重量 | 200g ( 不包括电缆) | ||
尘 / 水防护等级 | — | ||
测头 | ø3mm 硬质合金 ( 固定螺丝 : M2.5 ( P=0.45 ) x 5 ) , 标准测头 No.901312 | ||
装夹套筒 | ø15mm | ||
轴承类型 | 线性滚珠轴承 | ||
输出电缆长度 | 2m | ||
连接器 | 插头 : RM12BPE-6PH ( HIROSE ) , 兼容插座 : RM12BRD-6S ( HIROSE) | ||
运行温度 ( 湿度 ) 范围 | 10 - 30ºC ( RH 30 - 70%, 无冷凝) | ||
存储温度 ( 湿度 ) 范围 | –10 - 50ºC ( RH 30 - 70%, 无冷凝 ) 打开包装后存放的温度和湿度条件与操作时的条件相同 | ||
标准附件 | 测头专用扳手 : No.538610 | ||
订货信息：
测量范围 | 货号 | 分辨率 | 精度 | 测力* | 轴套直径 | 备注 |
10mm(.4") | 542-711-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.55N/0.45N/0.35N | 15mm | — |
10mm(.4") | 542-712-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.1N/—/— | 15mm | 低测力 |
*测微计方向：朝上／水平／朝下 | ||||||
产品尺寸图：
单位：mm
