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Mitutoyo开发出世界上精度较高的非接触式影像测量仪
作者:szdasing 来源:www.szdasing.com 日期:2023/4/14 10:20:02 人气:4059
Mitutoyo开发出世界上最高测量精度为(0.3+L/1000)μm(L为被测量物体长度)的非接触式影像测量仪(图)。该公司计划将其做为“QuickVision(QV)系列”的最高端机种“Ultra QV(暂定名)”2000年10月推向市场。标准系统价格为3000万日元,预计第一年向半导体、平面显示器以及精密模具制造商等销售20台。另外,该产品还将参加2000年6月14日~16日在横浜举行的“纳米级光学技术博览2000(第37届全日本光学测量仪展)”展览会。
该产品,将用于高精度3维测量仪的高刚性静压空气轴承用于各轴的定向器,从而大幅度提高了直线精度。另外,在基准测长系统中,还配备了采用超高精度结晶玻璃的光学式线性编码器,这种超高精度结晶化玻璃的热膨张系数为零,系该公司独自开发。另外,在统一了主要结构零部件的材质的同时,还将结构本身按照热对象进行设计,从而减少了温度变化所带来的影响。通过这些措施实现了目前世界最高的测量精度。测量范围为X,Y轴350mm,Z轴为150mm,最小显示量为0.01μm。
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